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硅电容压力传感器是一种结构型传感器

压力传感器-硅电容压力传感器性能特征：

一、适合批量生产，成本低

硅电容压力传感器利用MEMS工艺制作，芯片尺寸为3mm×3mm，一个4寸硅片可制作几百个元件。产品的工艺性好，性能一致，适合批量生产，低成本运

行。其制备工艺与IC工艺兼容，工艺装备无须象硅谐振传感器的工艺装备那样昂贵和复杂，也无须象金属膜片电容传感器那样单件制作，保证了硅电容传感器具有

高的性能价格比。

二、稳定性好

硅电容压力传感器是一种结构型传感器，压力传感器就检测原理而言，其稳定性优于物性型传感器，从结构设计角度保证了该类传感器的稳定性；结构工艺采用全硬

封固态工艺，电容传感器 厂家，硅-玻璃-金属导压管采用静电封接，电容式传感器厂家，减少了用胶封等引起的应力、滞迟和变差；电容对温度不灵敏，温度附加误差小，不需象硅压阻器件那样进行复

杂的温度补偿。稳定性好是硅电容传感器深受用户好感的主要原因之一。

三、指标先进

电容传感器本身具有小功率、高阻抗、静电引力小、可动质量小、发热影响小的特点，并可进行非接触测量。硅电容传感器综合性能指标如非线性、过载、静压、可

靠性等性能优于硅压阻传感器、陶瓷电容传感器、金属膜片电容传感器。它与硅谐振传感器相当，特别是用户追求的非线性指标，通常硅电容传感器的非线性优于

0.05％FS的成品率大于60％。

 中国传感器市场规模

  消费电子方面，智能手机、平板电脑几乎成为多数人的*，鉴于该部分产品基数比较大，未来增速会比较慢，但数量的需求仌然会很大，该领域将成为传感器市场的一支稳定的需求力量，新的电子产品的快速开发也会成为消费电子领域的新增需求力量。近年来，数字传感器厂家，国内传感器市场持续快速增长，年均增长速度**过20%，2011年传感器市场规模为480亿元，2012年达到513亿元，2013年达到640亿元，通辽传感器厂家，2014年则**过800亿元。

  市场格局

  受传感器巨大前景的影响，中国的传感器企业也在不断增多，主要有华工科技、苏州固锝、大立科技等。

  在传感器技术的面，我国企业已基本掌握了中低端传感器研发的技术，并逐渐在向高端领域拓展。

  和国外的差距为我们的增长提供了空间，也指明了的向，并且中国这几年在电子信息技术的面也取得了较快的发展，所以在巨大市场需求的刺激下，在众多本土企业的参与下，中国传感器企业有望取得骄人的成绩。